초순수속에 포함된 GAS 성분을 제거하는 장치
 
R/O후단,EDI 전단에 설치 하여 C02,CO3,02를 제거
 
·공기 취입식(DG)-탑의 상부로부터 액을 살포 낙하시키고 하부로부터 공기를 송입하는 것으로 기체의 접촉을하게 해야만 성과를 얻을 수 있다.

·진공 방식(VDG)-진공 펌프나 스팀제트에 의해 탑내부를 가압하여 수중의 용존 산소 및 기타를 제거하는 것으로 공기 취입식보다는 설비비가 고가인 반면 탈기 효과에는 큰 차이가 없으므로 공기 취입식이 주로 사용된다.

·MEMBRANE 방식(MDG)-Air 폭기에 의한 탈기로서 기폭 방식의 하나로 AIR를 이용하여 MEMBRANE을 통과시켜 제거한다.장치비가 비싼반면 제거효과가
뛰어나며 공간절약,운송 및 설치가 용이하다.