


















|

 |
¼Ò¼ö¼ºÀÇ °íºÐÀÚ Áß°ø»ç¸·À¸·Î ³»ºÎ·Î ¹°À» ¼øȯ ½ÃÅ°°í ¸·ÀÇ ¿ÜÃø¿¡¼
Áø°øÀ» °É°ÔµÇ¸é
¿ëÇØµÈ »ê¼Ò°¡ ¸·ÀÇ ¿ÜºÎ·Î È®»êµÇ¾î ºüÁ® ³ª¿À°Ô µÇ¸ç Áú¼Ò°¡½º¸¦ ÁÖÀÔÇÏ¿© Å»±âÈ£À²À»
³ôÀ̸ç À̶§ Å»»ê¼Ò¼ö°¡ Á¦Á¶.
|
|
 |
C02,CO3,02¸¦ Á¦°Å(¿ëÁ¸»ê¼Ò 8PPM -> 5PPBÀÌÇÏ·Î
°¨¼Ò)
|
|
 |
Áø°øÀåÄ¡,N2 ¼³ºñ |
|
 |
VDG¿¡ ºñÇØ Ãþ°í°¡ ³·°í CompactÇϸç, Ãß°¡ Áõ¼³ÀÌ ¿ëÀÌÇÏ´Ù
|
|